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王曦
材料研究学报
采用离子束溅射方法制备了TiB2硬质薄膜AFM观察表明薄膜表面非常光滑AES、XRD和XPS分析证明薄膜中上要是B、Ti比为1.8,六方结构的TiB2多品体,且呈现强烈的(101)择优取向.由超显微压痕测量系统测得的加载、卸载曲线计算得到的薄膜的防微硬度高达48GPa。
关键词: 离子束 , null , null
